[发明专利]一种适用于高纯电子级气体生产系统的除水方法及系统在审
| 申请号： | 201911388980.6 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111135680A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 张长金;孟祥军;王占卫;杨万吉;张琴;胡帅;曹红梅;罗文键 | 申请（专利权）人： | 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/26 | 分类号： | B01D53/26 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 周蜜 |
| 地址： | 057550 河北省邯*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种适用于高纯电子级气体生产系统的除水方法及系统，属于高纯电子级气体生产技术领域。所述方法及系统经过干燥处理、加热处理、持续吹扫处理、碳酰氟化学反应除水、真空置换等步骤，可以将系统的水份处理至0.01×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 适用于 高纯 电子 气体 生产 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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