[发明专利]一种硅片加工用转运装置有效
| 申请号： | 201911394305.4 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111003039B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 杨兆安 | 申请（专利权）人： | 嘉兴市耐思威精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/00 | 分类号： | B62B3/00;B62B3/04;B62B5/00 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 饶富春 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片加工用转运装置，包括底座，所述底座顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体，且存放壳体两侧外壁均安装有固定块，两个所述固定块相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆，所述双向丝杆圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块，且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体，储存壳体底部内壁安装有橡胶垫，所述橡胶垫顶部外壁安装有等距离分布的隔板，且相邻两个隔板相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板。本发明中，通过设置有双向丝杆、第一滑动块、固定块和隔板，能够快速将储存壳体移动，方便将其进行存放，通过将硅片插入挤压板之间，通过伸缩弹簧将其挤压，提高了固定速率，且避免了硅片移动过程中发生移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 工用 转运 装置 | ||
【主权项】：
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