[发明专利]蒸发源的冷却装置及蒸发源在审
| 申请号： | 201911405498.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113122806A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 轩景泉;林文晶;马晓宇;钱海涛;赵军;王辉 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源的冷却装置及蒸发源。该蒸发源的冷却装置包括冷却箱，冷却箱设置有多个彼此独立的冷却槽，冷却槽用于装配坩埚；冷却组件，冷却箱的各个内侧壁上均可拆卸连接有冷却组件。本发明所提供的蒸发源的冷却装置及蒸发源的冷却部件可以单独拆卸，进而能够方便更换。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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