[发明专利]一种基于推拉小车的方式生长二维材料的装置及方法

摘要

本发明提供了一种基于推拉小车的方式生长二维材料的装置，包括：反应管，具有设有入口法兰的入口端以及设有出口法兰的出口端；火炉，设置在反应管的外侧，并靠近出口端一侧，具有上游端口和下游端口；推车，设有臂杆，放置在反应管内，并靠近入口端一侧；磁铁，设置在反应管的外侧，并置于推车的上方；第一石英舟，放置在反应管中并与臂杆连接，位于火炉的上游端口处；第二石英舟，位于火炉的中央；衬底，倒扣在第二石英舟上方；进气管，一端与入口法兰连接，另一端分别连接有Ar进气通道与H2进气通道；出气管，一端与出口法兰连接，另一端连接有抽气泵。本发明还提供了一种采用基于推拉小车的方式生长二维材料的装置的二维材料制备方法。