[发明专利]一种抛光头驱动装置及抛光设备在审
| 申请号： | 201911410317.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111085931A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;颜凯;中原司 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/00;B24B27/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光技术领域，公开一种抛光头驱动装置及抛光设备。抛光头驱动装置包括安装板、升降机构和动力机构。升降机构设置在安装板上，升降机构包括升降电机、丝杆、丝杆螺母和升降板，升降电机能够驱动丝杆转动以使丝杆螺母带动升降板升降。动力机构设置在升降板上，动力机构包括主轴、转动电机和分气块，转动电机位于主轴的一侧且能够驱动主轴转动，主轴的一端被配置为与抛光头组件固定连接，另一端与分气块固定连接，分气块通过主轴与抛光头组件连通，以使抛光头组件能够吸附硅片以及调节硅片的抛光压力。该抛光头驱动装置不仅能精确控制升降速度和转速，还能够有效避免硅片变形和碎裂现象的发生，且结构简单紧凑，布局合理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 驱动 装置 设备 | ||
【主权项】：
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