[发明专利]一种热电堆及其制备方法、探测器在审
| 申请号： | 201911415065.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111207828A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 周娜;李俊杰;熊文娟;高建峰;杨涛;李俊峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J5/12;G01J5/16;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种热电堆及其制备方法、探测器，涉及红外探测技术领域，以提高热电堆性能，热电堆制备方法包括步骤，提供衬底，在衬底的第一表面形成第一介质层；对第一介质层进行至少一次降应力处理；在第一介质层背离衬底的表面形成至少一个热偶对；在第一介质层背离衬底的表面上方形成吸收结构；在衬底上形成热端结构。所述热电堆采用上述制备方法制成。本发明提供的热电堆应用在探测器中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电 及其 制备 方法 探测器 | ||
【主权项】：
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