[发明专利]一种微同轴键合接口有效
| 申请号： | 201911416253.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111162050B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 周彪;王建;许向前;要志宏;史光华;孔令甲;常青松;袁彪;赵正桥 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H01L23/49 | 分类号： | H01L23/49;B81B7/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 田甜 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微同轴键合接口，属于芯片连接结构技术领域，包括外导体、内导体、绝缘板以及支撑体；其中，外导体设有通腔；内导体悬空设置在通腔内，内导体的一端用于与键合芯片通过键合线键合；绝缘板设于通腔内且与内导体的键合端搭接，一端伸出通腔且伸出端与外导体的侧壁固定连接；支撑体设于通腔内且位于绝缘板的正下方，支撑体的顶端支撑于绝缘板的底面。本发明提供的一种微同轴键合接口，绝缘板的正下方设有支撑体，在内导体上进行键合操作时，能够避免因键合下压而造成内导体向下弯折或下坠的问题，确保键合点的结合强度高，从而保证键合质量，确保键合接口的信号传输稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同轴 接口 | ||
【主权项】：
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