[发明专利]一种用于铜钼及合金膜的刻蚀液及其制备方法有效
| 申请号： | 201911418246.X | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN110923713B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 蒋雷;李广圣;李向峰;叶宁;黄学勇;赵亚雄 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李小波;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明提供一种用于铜钼及合金膜的刻蚀液及其制备方法，刻蚀液包括以下组分：双氧水、双氧水稳定剂、胺类pH调节剂、络合剂、金属缓蚀剂，余量为水；所述胺类pH调节剂为式1和/或式2所示的化合物，其中，R |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 合金 刻蚀 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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