[发明专利]一种抛光设备在审
| 申请号： | 201911418971.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN110962021A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;颜凯;中原司 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B29/02;B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种抛光设备。本发明提供的抛光设备，包括工作台、抛光盘模组和抛光头模组，抛光头模组包括抛光头和抛光头驱动装置，在工作台上依次设置上下料工位、粗抛工位、中抛工位和精抛工位，并在粗抛工位、中抛工位和精抛工位三个工位上设置抛光盘装置，由抛光头驱动装置驱动抛光头携带硅片与相应工位上的抛光盘装置相配合，该抛光设备中的各个工序的作业机构布局合理，能够同时进行粗抛光、中抛光和精抛光，抛光效率高。此外，该抛光设备，在整个抛光作业流程中，均由一个抛光头携带硅片依次进行粗抛光、中抛光以及精抛光，减少硅片转移过程中造成的损坏，提高硅片良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江芯晖装备技术有限公司，未经浙江芯晖装备技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911418971.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种数据信息化示踪地质参数的方法
- 下一篇：一种适用于卡槽的卡扣开闭锁装置
