[发明专利]一种提高LEP工艺中化镀层附着力的方法及LEP化学镀产品在审

专利信息
申请号: 201911421573.0 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN111058019A 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 马承文;翟后明;薛阔;张东胜;孔维贞;胡宗亮 申请(专利权)人: 上海安费诺永亿通讯电子有限公司
主分类号: C23C18/16 分类号: C23C18/16;C23C18/20;C23C18/38;C23C18/42
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 贺姿;胡晶
地址: 201108 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种提高LEP工艺中化镀层附着力的方法,包括如下步骤:提供一基板;采用激光束对基板的表面进行连续扫描,得到第一扫描区域;采用激光束在第一扫描区域上进行点状扫描,打下相互之间具有间距的光斑,得到第二扫描区域;将第一、二扫描区域浸入金属离子溶液中,并在第一、二扫描区域上诱导镀制金属作为种子层;化学镀加厚种子层,在种子层的上层形成化镀层。本发明在现有LEP工艺的基础上,增加了一道激光处理工艺,即在第一扫描区域上采用激光按照一定间距打下圆形的光斑,通过加深的光斑圆孔增加了化镀层的接触面积,从而增加了化镀层的附着力,解决了LEP技术中一直存在的难题,将LEP技术在实际产品中得到了运用。
搜索关键词: 一种 提高 lep 工艺 镀层 附着力 方法 化学 产品
【主权项】:
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