[发明专利]MEMS陀螺仪在审
| 申请号： | 201911423362.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111156981A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 马昭;占瞻;李杨;张睿;刘雨微;谭秋喻;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C19/42;G01C19/16 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了MEMS陀螺仪，其包括：固定件；环形件，所述环形件为正8角星形，若干所述环形件依次间隔嵌套布设于所述固定件外侧；第一辐条，若干所述第一辐条等间距环形布设于所述固定件和与所述固定件相邻的所述环形件之间，以连接所述固定件和所述环形件；第二辐条，若干所述第二辐条等间距环形布设于相邻的所述环形件之间，以连接相邻的所述环形件；以及第一电极组件，所述第一电极组件环形布设于所述环形件外周。 | ||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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