[发明专利]检测膜片式真空压力计沉积物的方法在审
| 申请号： | 201911425726.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111044602A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王迪;林琳;郜晨希;刘瑞琪;远雁;郑旭;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N1/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种检测膜片式真空压力计沉积物的方法，包括：步骤S1：将沉积物在预处理腔内进行激发，使沉积物成为气体状态；步骤S2：气体状态的沉积物通过减压装置减压后，输入与减压装置相连的分析腔室；以及步骤S3：在分析腔室内对沉积物进行质谱分析，完成沉积物的成分检测。通过将沉积物激发为气体状态后再进行质谱分析，以解决膜片式真空压力计沉积物分析的问题，从而针对不同的沉积物做合理的预防及清除。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 膜片 真空 压力计 沉积物 方法 | ||
【主权项】：
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