[发明专利]一种检测膜片式真空压力计沉积物的装置及其应用在审
| 申请号： | 201911425754.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111141813A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 王迪;陈林;林琳;靳毅;郜晨希;刘瑞琪;远雁;郑旭;李超波;张心强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01L21/30;G01L27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 方丁一 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测膜片式真空压力计沉积物的装置及其应用，所述装置包括：预处理腔室，用于将所述膜片式真空压力计中带有沉积物的膜片表面进行预处理，去除杂质；气化腔室，用于将膜片表面的沉积物气化；分析腔室，所述分析腔室与所述气化腔室连通，用于分析气化后的沉积物气体的组成成分。实现对膜片式真空压力计沉积物的成分进行分析的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 膜片 真空 压力计 沉积物 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
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