[实用新型]一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置

摘要

本实用新型公开了一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，包括脱胶槽，所述脱胶槽的底部四角通过螺栓连接有支撑腿，所述支撑腿的外壁通过螺栓连接有同一个安装底座，所述安装底座的顶部通过螺栓连接有储液箱，所述安装底座的顶部一侧通过螺栓连接有抽液泵，所述储液箱的内壁通过螺栓连接有加热板，且储液箱的内壁底部通过螺栓连接有过滤网筒。本实用新型中，通过设置有转动圆盘，硅片放置架、紧固螺栓，固定板、卡槽，将硅片放置架卡接在固定板上安装的卡槽内，通过紧固螺栓将硅片放置架固定，同时将固定杆卡接在卡槽内，工作人员转动转动圆盘带动转动轴转动，从而带动硅片放置架转动，可对硅片进行充分脱胶。

主权项

1.一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，包括脱胶槽(5)，其特征在于，所述脱胶槽(5)的底部四角通过螺栓连接有支撑腿(1)，所述支撑腿(1)的外壁通过螺栓连接有同一个安装底座(2)，所述安装底座(2)的顶部通过螺栓连接有储液箱(14)，所述安装底座(2)的顶部一侧通过螺栓连接有抽液泵(3)，所述储液箱(14)的内壁通过螺栓连接有加热板(15)，且储液箱(14)的内壁底部通过螺栓连接有过滤网筒(16)，所述过滤网筒(16)与抽液泵(3)通过管道连接，所述脱胶槽(5)的外壁通过螺栓连接有处理器(6)，且脱胶槽(5)的顶部开设有矩形槽口，所述脱胶槽(5)的内壁两侧通过螺栓连接有轴承底座，且轴承底座的内壁通过轴承连接有转动轴(7)，所述转动轴(7)的一侧通过螺栓连接有固定板(9)，且固定板(9)的外壁一侧开设有卡槽(20)，所述卡槽(20)的内壁滑动连接有硅片放置架(10)，且硅片放置架(10)的内部卡接有硅片，所述储液箱(14)的内壁通过螺栓连接有温度传感器(17)，且温度传感器(17)与处理器(6)通过信号线电性连接，所述脱胶槽(5)的内壁底部焊接有漏水口管，且漏水管的底部通过通过螺纹连接有过滤器(18)，所述过滤器(18)的底部通过卡套连接有波纹管(19)，所述卡槽(20)的内部卡接有固定杆(21)。