[实用新型]制造平面锂靶材组件的设备有效
| 申请号： | 201920027229.2 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN209906873U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 齐大志;程滋平;杨诚;陈强;牟瀚波;吴春敢;刘慧芳;代春雨 | 申请（专利权）人： | 天津中能锂业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/14;B23K20/00 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 贺卫国 |
| 地址： | 300457 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 公开了一种制造平面锂靶材组件的设备，包括：真空室；与真空室相连的抽真空装置和可选的破真空装置；用于支撑初始靶材组件的支撑件和用于向初始靶材组件施压的施压件，其中所述支撑件和所述施压件以可移除的方式置于所述真空室中；加热装置，用于加热被所述支撑件支撑的初始靶材组件。本实用新型的技术方案解决了平面锂靶材生产中靶材质量不佳的问题，所制造的靶材组件具有高抗拉强度，还可以解决金属锂柔软和黏性所导致的生产问题，使靶材组件的生产简洁易行，且基本无原材料浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材组件 真空室 支撑件 施压件 靶材 本实用新型 抽真空装置 破真空装置 方案解决 加热装置 生产问题 黏性 金属锂 可选的 可移除 施压 支撑 加热 柔软 制造 生产 | ||
【主权项】：
1.一种制造平面锂靶材组件的设备，其特征在于，所述设备包括：/n真空室；/n与真空室相连的抽真空装置和可选的破真空装置；/n用于支撑初始靶材组件的支撑件和用于向初始靶材组件施压的施压件，其中所述支撑件和所述施压件以可移除的方式置于所述真空室中；/n加热装置，用于加热被所述支撑件支撑的初始靶材组件，/n其中，所述初始靶材组件包括锂靶坯和背板，所述锂靶坯具有第一主表面和与第一主表面相反的第一背面，所述背板具有第二主表面和与第二主表面相反的第二背面，所述锂靶坯的第一主表面与所述背板的第二主表面相对设置并贴合，形成初始组件。/n
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