[实用新型]成膜基板的降温系统有效
| 申请号： | 201920027810.4 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN209456559U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 邱大均 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李小波;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种成膜基板的降温系统，包括：冷却板和吸热板；所述冷却板和所述吸热板紧贴固定连接，均竖立设置在真空转换腔体内，所述吸热板与位于所述基板出轨道上的成膜基板相对设置且所述吸热板靠近所述成膜基板；其中，所述冷却板用于充入冷却液。本实用新型提供一种成膜基板的降温系统，可有效降低成膜基板的温度，降低成膜基板的氧化几率。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜基板 吸热板 降温系统 冷却板 本实用新型 紧贴固定 竖立设置 相对设置 真空转换 冷却液 出轨 基板 体内 | ||
【主权项】：
1.一种成膜基板的降温系统，其特征在于，包括：冷却板和吸热板；所述冷却板和所述吸热板紧贴固定连接，均竖立设置在真空转换腔体内，所述吸热板与位于基板出轨道上的成膜基板相对设置且所述吸热板靠近所述成膜基板；其中，所述冷却板用于充入冷却液。
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