[实用新型]一种微元件转移装置有效
| 申请号： | 201920035974.1 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN209515723U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 郭双;孙建明;田文亚 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微元件转移装置，包括：腔室本体，用于定义一真空腔室，且腔室本体的侧壁上形成有与真空腔室连通且呈阵列方式排布的多个通孔；多个吸嘴，分别与通孔对应设置，并定义一个经通孔连通至真空腔室的吸取通道；多个封堵组件，分别与吸取通道对应设置，其中每一封堵组件包括第一盖板、第二盖板和致动组件，致动组件用于控制第一盖板和第二盖板在第一相对位置和第二相对位置之间切换，当处于第一相对位置时，第一盖板和第二盖板隔断吸取通道到真空腔室的连通，当处于第二相对位置时，第一盖板和第二盖板使得吸取通道保持到真空腔室的连通。通过上述方式，本申请能够节省转移时间。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板 真空腔室 吸取通道 连通 通孔 封堵组件 腔室本体 致动组件 转移装置 微元件 阵列方式 侧壁 隔断 排布 吸嘴 申请 | ||
【主权项】：
1.一种微元件转移装置，其特征在于，包括：腔室本体，用于定义一真空腔室，且所述腔室本体的侧壁上形成有与所述真空腔室连通且呈阵列方式排布的多个通孔；多个吸嘴，分别与所述通孔对应设置，并定义一个经所述通孔连通至所述真空腔室的吸取通道；多个封堵组件，分别与所述吸取通道对应设置，其中每一所述封堵组件包括第一盖板、第二盖板和致动组件，所述致动组件用于控制所述第一盖板和所述第二盖板在第一相对位置和第二相对位置之间切换，当处于所述第一相对位置时，所述第一盖板和所述第二盖板隔断所述吸取通道到所述真空腔室的连通，当处于所述第二相对位置时，所述第一盖板和所述第二盖板使得所述吸取通道保持到所述真空腔室的连通。
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