[实用新型]处理腔室中的RF接地条有效
| 申请号： | 201920052299.3 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN209516048U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 英玛;陈世章;甄耿;安德鲁·门;尚安 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01R11/01 | 分类号： | H01R11/01;H01R11/09;H01R4/64;H01R4/48;H01B5/02;H01B1/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种在处理腔室中使用的接地条，所述接地条包括：核心主体；和铝层，所述铝层涂在并且覆盖所述核心主体的周围；其中所述铝层具有超过15μm的厚度。此外，提供一种处理腔室，所述处理腔室包括：腔室主体，所述腔室主体界定内部空间；基座，所述基座布置在所述内部空间中，用于在其上支撑基板；至少一个接地条，所述至少一个接地条连接在所述腔室主体和所述基座之间；其中所述至少一个接地条包括：核心主体；和具有超过15μm厚度的铝层，所述铝层涂在并且覆盖所述核心主体的周围。 | ||
| 搜索关键词： | 接地条 铝层 处理腔室 核心主体 腔室主体 本实用新型 上支撑 基板 界定 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种在处理腔室中使用的接地条，包括：核心主体；以及铝层，所述铝层涂在并且覆盖所述核心主体的周围；其特征是：所述铝层具有超过15μm的厚度。
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H01 基本电气元件
H01R 导电连接；一组相互绝缘的电连接元件的结构组合；连接装置；集电器
H01R11-00 有两个或两个以上分开的连接位置用来或可能用来使导电部件互连的各连接元件，例如：由电线或电缆支承并具有便于与某些其他电线；接线柱或导电部件；接线盒进行电连接的装置的电线或电缆端部部件
H01R11-01 .以其连接位置之间导电互连的形式或安排为特点区分的
H01R11-03 .以各连接元件上连接位置的类型或以连接位置与导电部件之间的连接类型为特征的
H01R11-11 .由电线或电缆支承并具有便于与其他电线、端子或导电部件连接的装置的电线或电缆端部部件或抽头部件
H01R11-12 ..终接于环、钩或叉的端接片
H01R11-16 ..终接于焊头或插座的端接片
H01R 导电连接；一组相互绝缘的电连接元件的结构组合；连接装置；集电器
H01R11-00 有两个或两个以上分开的连接位置用来或可能用来使导电部件互连的各连接元件，例如：由电线或电缆支承并具有便于与某些其他电线；接线柱或导电部件；接线盒进行电连接的装置的电线或电缆端部部件
H01R11-01 .以其连接位置之间导电互连的形式或安排为特点区分的
H01R11-03 .以各连接元件上连接位置的类型或以连接位置与导电部件之间的连接类型为特征的
H01R11-11 .由电线或电缆支承并具有便于与其他电线、端子或导电部件连接的装置的电线或电缆端部部件或抽头部件
H01R11-12 ..终接于环、钩或叉的端接片
H01R11-16 ..终接于焊头或插座的端接片
