[实用新型]一种动态气敏特性检测装置有效
申请号: | 201920052972.3 | 申请日: | 2019-01-11 |
公开(公告)号: | CN209460228U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 陈栋梁;周睿颖;荣钱;邹子纯;曹立志;周文建 | 申请(专利权)人: | 合肥微纳传感技术有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 张景云 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:包括底座、上盖;所述底座上固定有多个传感器芯片;所述上盖上设置有与传感器芯片位置和数量相匹配的探针,以及开设有进气口和排气口;所述上盖和底座固定配合后,探针与相对应的传感器芯片的触点接触,且上盖和底座之间形成测试腔,多个传感器芯片处于测试腔内,待测气体自进气口进入,经过测试腔后从排气口排出。本实用新型优点为:通过多通道的设置,同时对待测气体进行多组检测,能够得到多组检测信息,降低检测失误率,提高检测效果。 | ||
搜索关键词: | 传感器芯片 上盖 底座 测试腔 进气口 本实用新型 检测装置 气敏特性 探针 检测 触点接触 待测气体 固定配合 检测信息 排气口排 多通道 排气口 失误率 匹配 | ||
【主权项】:
1.一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:包括底座、上盖;所述底座上固定有至少一个传感器芯片;所述上盖上设置有与传感器芯片触点的位置和数量相匹配的探针,以及开设有进气口和排气口;所述上盖和底座固定配合后,探针与相对应的传感器芯片的触点接触,且上盖和底座之间形成测试腔,传感器芯片处于测试腔内,待测气体自进气口进入,经过测试腔后从排气口排出。
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