[实用新型]湿法刻蚀烘干设备

摘要

本公开提供了一种湿法刻蚀烘干设备，属于湿法刻蚀技术领域。该湿法刻蚀烘干设备包括用于设于一作业空间内的烘干装置、空气过滤装置、连接烘干装置的进气口和空气过滤装置的出气口的第一连接管、用于检测第一连接管内的空气中的颗粒物浓度的第一颗粒物检测器、与第一颗粒物检测器连接的控制装置、能在控制装置控制下报警的第一警报装置、风机、连接空气过滤装置的进气口和风机的出气口的第二连接管和多个第三连接管，其中，各第三连接管的出气口均连接风机的进气口；各第三连接管均能伸出作业空间，且进气口能相互隔离地固定于作业空间外；任一第三连接管上设置有阀门。该湿法刻蚀烘干设备能避免酸性空气进入烘干装置污染硅片，保证硅片的良率。

主权项

1.一种湿法刻蚀烘干设备，其特征在于，包括：烘干装置，具有进气口和出气口，用于设于一作业空间内；空气过滤装置，具有进气口和出气口；第一连接管，连接所述烘干装置的进气口和所述空气过滤装置的出气口；第一颗粒物检测器，设于所述第一连接管，用于检测所述第一连接管内的空气中的颗粒物浓度；控制装置，与所述第一颗粒物检测器连接，用于在所述第一颗粒物检测器检测的结果高于第一设定值时发出第一警报信号；第一警报装置，与所述控制装置连接，能够根据所述第一警报信号发出警报；风机，具有进气口和出气口；第二连接管，连接所述空气过滤装置的进气口和所述风机的出气口；多个第三连接管，各所述第三连接管的出气口均连接所述风机的进气口；各所述第三连接管均能伸出所述作业空间，且各所述第三连接管的进气口能相互隔离地固定于所述作业空间外；任一所述第三连接管上设置有阀门。