[实用新型]一种具有除尘功能的PECVD下料装置

摘要

本实用新型公开了PECVD下料装置技术领域的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体与机械臂，下料本体顶部内壁设置有机械臂，机械臂底部外壁设置有连接板，连接板底部外壁设置有吸盘，下料本体左右两侧中央内壁之间设置有托板，托板顶部外壁设置有风刀，下料本体左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，装置中通过引风机工作，将下料本体内部空气抽入到收集箱中，使清理产生的氮化硅粉尘也被吸收到收集箱中，确保氮化硅粉尘不会四处飞溅，使周围环境不被污染，保证工作人员的身体健康。

主权项

1.一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体（1）与机械臂（2），其特征在于：下料本体（1）顶部内壁设置有机械臂（2），机械臂（2）底部外壁设置有连接板（3），连接板（3）底部外壁设置有吸盘（4），下料本体（1）左右两侧中央内壁之间设置有托板（5），托板（5）顶部外壁设置有风刀（6），下料本体（1）左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，鼓风机左侧外壁出口与电磁阀连接，电磁阀左侧外壁设置有通风管（8），通风管（8）远离电磁阀的一端与风刀（6）左侧外壁连接，下料本体（1）右侧外壁开设有开槽，下料本体（1）右侧外壁设置有连接管（12），开槽位于连接管（12）的正左侧，连接管（12）远离下料本体（1）的一端与收集箱（13）连接，收集箱（13）左侧外壁与下料本体（1）右侧底部外壁连接，收集箱（13）底部右侧内壁设置有引风机（14），收集箱（13）底部左侧外壁开设有出风口（15），出风口（15）内腔设置有筛网（16）。