[实用新型]一种新型磁控溅射导向式泵抽装置有效
| 申请号： | 201920062199.9 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN209584362U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 文继志;张浙军 | 申请（专利权）人： | 威海斡兹真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，包括泵壳，所述泵壳的内部套有一个圆柱体部件，所述圆柱体部件内焊接式安装有导向槽，所述导向槽从所述圆柱体部件的底端回旋式延伸至顶端，所述导向槽包括柱体、凹槽、薄膜和凸起，所述柱体上设有所述凹槽，所述凹槽呈锯齿状均匀的排列在所述柱体的外表面上，所述凹槽的外部铺设有一层所述薄膜，所述薄膜的表面上均匀的设有若干个所述凸起，所述圆柱体部件的前端设有圆环，所述圆环设置在所述圆柱体部件的内侧，所述圆环上安装有扇叶。本申请的上述技术方案采用内回旋设计形式，并设置多种增加阻力的结构，以增加泵抽流阻，在保证工艺真空的前提下减少对工艺气体的扰动与捕集，起到稳定工艺的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 圆柱体部件 导向槽 圆环 柱体 薄膜 泵抽装置 新型磁控 导向式 泵壳 溅射 凸起 工艺气体 稳定工艺 焊接式 回旋式 锯齿状 扰动 泵抽 捕集 底端 流阻 扇叶 申请 铺设 外部 延伸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，包括泵壳(1)，其特征是：所述泵壳(1)的内部套有一个圆柱体部件(2)，所述圆柱体部件(2)内焊接式安装有导向槽(3)，所述导向槽(3)从所述圆柱体部件(2)的底端回旋式延伸至顶端，所述导向槽(3)包括柱体(3.1)、凹槽(3.2)、薄膜(3.3)和凸起(3.4)，所述柱体(3.1)由若干个半椭圆型的弧由上至下相互连接组成，所述柱体(3.1)的截面呈棱台状，且底部固定在所述圆柱体部件(2)的内壁上、顶部朝向所述圆柱体部件(2)的中央，所述柱体(3.1)上设有所述凹槽(3.2)，所述凹槽(3.2)呈锯齿状均匀的排列在所述柱体(3.1)的外表面上，所述凹槽(3.2)的外部铺设有一层所述薄膜(3.3)，所述薄膜(3.3)的表面上均匀的设有若干个所述凸起(3.4)，所述圆柱体部件(2)的前端设有圆环(4)，所述圆环(4)设置在所述圆柱体部件(2)的内侧，所述圆环(4)上安装有扇叶(5)。
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