[实用新型]一种十字关节浮动结构及应用其的抛光机

摘要

本实用新型公开了一种十字关节浮动结构，用于设置在抛光机的抛头动力源和载物法兰之间，包括同心设置的内轴套、中间轴套和外轴套，所述内轴套和外轴套分别与中间轴套转动配合，并且所述内轴套和外轴套的转轴互相垂直。本实用新型还公开了一种抛光机。本实用新型通过同心设置的内轴套和外轴套，分别绕所述中间轴套转动，并且转动的轴线相互垂直，使得抛光头动力源和载物法兰之间通过中间轴套和外轴套相对于抛光头动力源的转动，实现平滑的360度偏移，避免抛头抛光晶圆的过程当中，出现震动，以保证晶圆的加工品质。

主权项

1.一种十字关节浮动结构，设于抛光机的抛头动力源和载物法兰之间，其特征在于：包括内销组件、外销组件、同心设置的内轴套、中间轴套和外轴套，所述内轴套通过所述的内销组件与所述的中间轴套相连且相对所述的中间轴套转动，所述的外轴套通过所述的外销组件与所述的中间轴套相连且相对所述的中间轴套转动。