[实用新型]一种真空镀膜机的基材旋转装置有效
申请号: | 201920066719.3 | 申请日: | 2019-01-16 |
公开(公告)号: | CN209974878U | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 蒋建华;向毅 | 申请(专利权)人: | 昆山金百辰金属科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 32329 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 仲昌民 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的基材旋转装置,其技术方案要点是:包括固定在所述镀膜室外部的伺服电机,所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动,所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮,所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆,两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部,所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆,所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮,所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部,利用真空镀膜机的基材旋转装置能够带动基材翻转,在基材被镀膜一面之后可以方便将基材翻转到另一面进行真空镀膜,节省了操作的工序。 | ||
搜索关键词: | 基材 固定杆 镀膜 锥形齿轮 真空镀膜机 旋转装置 保护箱 室内部 支撑杆 翻转 技术方案要点 伺服电机驱动 本实用新型 待镀膜基材 伺服电机 一端设置 真空镀膜 转动连接 固定部 室外部 底端 顶面 转动 外部 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜机的基材旋转装置,包括固定在镀膜室外部的伺服电机,其特征在于:所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动,所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮,所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆,两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部,所述第一锥形齿轮在所述保护箱内部转动,所述保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口,所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆,所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮,所述第一锥形齿轮和所述第二锥形齿轮之间相互啮合,所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山金百辰金属科技有限公司,未经昆山金百辰金属科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920066719.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:磁控溅射纳米疏水膜制备装置
- 下一篇:一种筒件的真空镀膜夹具
- 同类专利
- 专利分类