[实用新型]一种新型磁控溅射工艺混流装置

摘要

本申请公开了一种新型磁控溅射工艺混流装置，混流桶的上下方分别连通有进气管，下层进气管位于上层进气管之间，混流桶的上方通过螺栓安装有桶盖，桶盖的顶部通过螺钉安装有伺服电机，伺服电机的下方连接有混流器，混流器的上方为连接轴，混流器的下方为螺旋状的混流桨，混流桨的侧面设有固定环，固定环处穿接有导风条并通过铆钉固定，混流桶的左侧连通有压气罐，压气罐的下方连通有气缸，气缸的上方通过螺纹副安装有压头，压头与压气罐的底部之间通过螺丝安装有风琴式伸缩罩，压气罐的内侧上方焊接有内压桶，内压桶的表面设有若干进气口。本申请使得气体混合的更加充分，不仅便于混合后的气体快速排出，还保证了气体排出的稳定性。

主权项

1.一种新型磁控溅射工艺混流装置，包括混流桶(1)和支架(2)，其特征是：所述混流桶(1)的上下方分别连通有进气管(3)，下层所述进气管(3)位于上层所述进气管(3)之间，所述混流桶(1)的上方通过螺栓安装有桶盖，所述桶盖的顶部通过螺钉安装有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的下方连接有混流器(5)，所述混流器(5)的上方为连接轴，所述混流器(5)的下方为螺旋状的混流桨，所述混流桨的侧面通过铆钉固定有导风条(6)，所述混流桶(1)的左侧连通有压气罐(7)，所述压气罐(7)与所述混流桶(1)之间为一体成型式结构，所述压气罐(7)的下方连通有气缸(8)，所述气缸(8)的上方通过螺纹副安装有压头(9)，所述压头(9)与所述压气罐(7)的底部之间通过螺丝安装有风琴式伸缩罩(10)，所述压气罐(7)的内侧上方焊接有内压桶(11)，所述内压桶(11)的表面设有若干进气口，所述内压桶(11)的直径大于所述风琴式伸缩罩(10)的直径，所述内压桶(11)的上方内侧焊接有弹簧，所述内压桶(11)的顶部设有出气管(12)，所述出气管(12)穿过所述压气罐(7)的顶部，所述出气管(12)的上方侧面安装有安全阀(13)，所述压气罐(7)和所述混流桶(1)焊接在所述支架(2)的上方内侧，所述气缸(8)的下方为缸筒，所述缸筒的底部通过螺杆安装在所述支架(2)的左侧，所述支架(2)的中下方为连接杆，所述缸筒位于所述连接杆的左上方。/n