[实用新型]一种硅片分选机的上料系统有效
| 申请号： | 201920078607.X | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN209591987U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 甘培培;王浩;苏琪 | 申请（专利权）人： | 银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 张智锐 |
| 地址： | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本公开提供一种硅片分选机的上料系统，涉及太阳能晶硅硅片处理领域，能够解决卡滞硅片处理效率较低的问题。具体技术方案为：一种硅片分选机的上料系统，包括上料架、花篮、推送机构和传送机构，花篮设置于上料架；推送机构设置于上料架，且与花篮相邻；推送机构包括驱动装置、传动装置和推杆；传动装置包括丝杠及丝母，丝杠的一端设有外螺纹，丝杠的另一端通过驱动装置驱动，丝母相对于丝杠可移动以推动花篮内的硅片；丝母设有与外螺纹配合的内螺纹，丝母与推杆连接；传送机构用于将花篮内的硅片传送至硅片分选机。通过推杆与花篮中卡滞的硅片接触并及时推入传送机构，减少了处理卡滞硅片的时间，提高处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 花篮 分选机 丝杠 丝母 传送机构 上料系统 推送机构 上料架 推杆 传动装置 驱动装置 外螺纹 卡滞 处理效率 硅片处理 硅片传送 晶硅硅片 推杆连接 处理卡 可移动 内螺纹 推入 太阳能 驱动 配合 | ||
【主权项】：
1.一种硅片分选机的上料系统，其特征在于，包括上料架、花篮、推送机构和传送机构；所述花篮设置于所述上料架；所述推送机构设置于所述上料架，且与所述花篮相邻；所述推送机构包括驱动装置、传动装置和推杆；所述传动装置包括丝杠及丝母，所述丝杠的一端设有外螺纹，所述丝杠的另一端通过所述驱动装置驱动，所述丝母相对于所述丝杠可移动以推动所述花篮内的硅片；所述丝母设有与所述外螺纹配合的内螺纹，所述丝母与所述推杆连接；所述传送机构用于将所述花篮内的硅片传送至硅片分选机。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
