[实用新型]一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置有效
| 申请号： | 201920081403.1 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN209794247U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李广森 | 申请（专利权）人： | 安徽华顺半导体发展有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 34141 合肥汇融专利代理有限公司 | 代理人： | 张雁 |
| 地址： | 239300 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域，具体涉及一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机，所述切片机的下方设有废液收集槽，所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置，且回收处理装置位于加工台的下端，所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，有效的解决了切割后的废液无法直接使用，处理需要耗费大量的人力物力，得不偿失，直接排放则会造成资源浪费的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 回收处理装置 本实用新型 废液收集槽 加工台 喷液机 切片机 下端 多晶硅片 贯通连接 加工设备 人力物力 线切割液 直接排放 多晶硅 回流管 进液管 输出端 废液 切割 加工 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机，其特征在于：所述切片机的下方设有废液收集槽，所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置，且回收处理装置位于加工台的下端，所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接；/n所述回收处理装置包括废液箱，且废液箱通过进液管与废液收集槽的下端贯通连接，所述废液箱上插设有输出管，且输出管位于废液箱内腔的一段上安装有液体泵，输出管的另一端连接有过滤组件，所述过滤组件的另一侧通过第一连接管贯通连接有沉淀组件，所述沉淀组件通过第二连接管连接有曝气组件，所述曝气组件的侧壁上部通过出液管贯通连接有回流箱，所述回流箱通过回流管与喷液机的输入端相连接。/n
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