[实用新型]一种晶圆放置盘中到位检测装置有效
| 申请号： | 201920089117.X | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN209542485U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 薛刚 | 申请（专利权）人： | 上海福赛特机器人有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/952 | 分类号： | G01N21/952 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇区虹梅*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆放置盘中到位检测装置，包括：视觉检测模块，设于盘的上方，用于获取所述盘和所述盘上放置的晶圆之间的对比度图像；光源，设于所述视觉检测模块与所述盘之间，用于提供获取所述对比度图像时的垂直照明及侧向打光；图像分析模块，连接所述视觉检测模块，用于将所述对比度图像与样本图例进行对比及运算，判断所述晶圆是否完全放置到位。本实用新型通过高像素高精度视觉设备精准检测碳化硅盘中圆形槽位外围的黑白对比度，来判断晶圆有无完全到位，可一次性高效检测晶圆有无到位，整个检测方式在半导体自动化放置晶圆中起到了快速高效精准检测的有益技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 视觉检测模块 对比度图像 到位检测装置 本实用新型 放置盘 种晶 检测 侧向 图像分析模块 黑白对比度 垂直照明 高效检测 技术效果 视觉设备 高像素 碳化硅 一次性 圆形槽 打光 光源 半导体 运算 样本 自动化 外围 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，包括：视觉检测模块，设于盘的上方，用于获取所述盘和所述盘上放置的晶圆之间的对比度图像；光源，设于所述视觉检测模块与所述盘之间，用于提供获取所述对比度图像时的垂直照明及侧向打光；图像分析模块，连接所述视觉检测模块，用于将所述对比度图像与样本图例进行对比及运算，判断所述晶圆是否完全放置到位。
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