[实用新型]蒸镀单元及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201920091609.2 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN209722278U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李灏;罗志忠 | 申请（专利权）人： | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 唐清凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀单元及蒸镀装置。蒸镀单元包括：线性蒸镀源，用于向待蒸镀基板射出蒸镀颗粒；以及角度限制件，用于限制蒸镀颗粒的通过角度；角度限制件位于线性蒸镀源沿蒸镀方向的一侧，且角度限制件可沿线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转。应用本实用新型技术方案的蒸镀单元，由于角度限制件可沿线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转，因此能够增加蒸镀材料在角度限制件上的附着面积，延长了对线性蒸镀源进行清理的时间，从而提高蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 角度限制件 蒸镀源 本实用新型 线性方向 蒸镀材料 蒸镀基板 蒸镀装置 附着 射出 应用 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀单元，其特征在于，所述蒸镀单元包括：/n线性蒸镀源，用于向待蒸镀基板射出蒸镀颗粒；以及/n角度限制件，用于限制蒸镀颗粒的通过角度；所述角度限制件位于所述线性蒸镀源沿蒸镀方向的一侧，且所述角度限制件可沿所述线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转。/n
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