[实用新型]一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置有效
| 申请号： | 201920093093.5 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN209685909U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 葛强;李万春;郭乃祝 | 申请（专利权）人： | 珠海中纳金刚石有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/448;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 俞梁清<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域，具体涉及一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，包括有基座、设置在基座上的模具固定架以及设置在基座上方的热丝，热丝分为沿水平横向排布的第一热丝、沿水平纵向排布的第二热丝以及沿竖向排布的第三热丝，第一热丝能够穿过模具的内孔，模具固定架上设置有能够容置模具的V形槽或楔形槽；本实用新型通过水平横向排布的第一热丝、水平纵向排布的第二热丝以及纵向排布的第三热丝而形成一个稳定的加热区域，其中第一热丝能够穿过模具的内孔，这样的方式能够避免内孔两端的温度衰减，提升纳米金刚石涂层的质量，保证内孔纳米金刚石涂层的圆度均匀，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 热丝 内孔 排布 纳米金刚石涂层 模具 化学气相沉积 本实用新型 模具固定架 水平横向 水平纵向 穿过 镀膜设备 加热区域 竖向排布 纵向排布 热丝CVD 成品率 楔形槽 容置 衰减 圆度 保证 | ||
【主权项】：
1.一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，包括有基座(1)、设置在基座(1)上的模具固定架(2)以及设置在基座(1)上方的热丝，其特征在于，所述热丝分为沿水平横向排布的第一热丝(4)、沿水平纵向排布的第二热丝(5)以及沿竖向排布的第三热丝(6)，所述第一热丝(4)能够穿过模具(3)的内孔，所述模具固定架(2)上设置有能够容置模具(3)的V形槽或楔形槽。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海中纳金刚石有限公司，未经珠海中纳金刚石有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920093093.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
