[实用新型]一种射频电源自动阻抗匹配装置有效
| 申请号： | 201920093815.7 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN210247128U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张凤娟;张雪萍;阮解琼;薛坤 | 申请（专利权）人： | 云南农业大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 李中强 |
| 地址： | 650201 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种射频电源自动阻抗匹配装置，属于电子仪器设备领域，所述的射频电源自动阻抗匹配装置包括射频电源、功率相位检测器、阻抗匹配器、等离子体设备、控制单元、电机、自偏压电路，功率相位检测单元连接在射频电源和阻抗匹配器之间，阻抗匹配器连有等离子体设备和电机，控制单元与电机和功率相位检测器相连，自偏压电路连接于阻抗匹配器和等离子体设备之间。本实用新型通过调节负载阻抗的状态，使负载阻抗与源阻抗匹配的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 自动 阻抗匹配 装置 | ||
【主权项】：
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