[实用新型]一种晶片清洗干燥机有效
| 申请号： | 201920104493.1 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN209998007U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 葛林五;李杰;丁高生;陈景韶;葛林新 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00;F26B3/04 |
| 代理公司： | 31105 上海智力专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201405 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶片清洗干燥机，该干燥机包括：上箱体，所述上箱体中设置有干燥组件；中箱体，所述中箱体中设置有用来承置晶片的花篮组件；以及下箱体，所述上箱体、中箱体与下箱体能够一起构成密封整体，所述下箱体中设置有用来向外部排出气流的第一抽气管、用来向所述下箱体中供水的进水管和用来向外部排出水流的第一出水管。本实用新型的有益效果为提高晶片清洗的洁净度和干燥效率。 | ||
| 搜索关键词： | 下箱体 上箱体 中箱体 本实用新型 清洗干燥机 干燥效率 干燥组件 晶片清洗 密封整体 排出气流 抽气管 出水管 干燥机 洁净度 进水管 外部 晶片 排出 种晶 花篮 供水 | ||
【主权项】：
1.一种晶片清洗干燥机，其特征在于，该干燥机包括：/n上箱体（1），所述上箱体（1）中设置有干燥组件（11）；/n中箱体（2），所述中箱体（2）中设置有用来承置晶片（5）的花篮组件（21）；以及/n下箱体（3），所述上箱体（1）、中箱体（2）与下箱体（3）能够一起构成密封整体，所述下箱体（3）中设置有用来向外部排出气流的第一抽气管（31）、用来向所述下箱体（3）中供水的进水管（32）和用来向外部排出水流的第一出水管（33）。/n
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