[实用新型]一种晶圆倒片机中盘的气密性检测装置有效
| 申请号： | 201920116719.X | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN209280219U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 徐韦明 | 申请（专利权）人： | 上海福赛特机器人有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇区虹梅*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，包括：密封机构，其设有密封圈，当所述密封机构由初始位置下降到预设位置时，所述密封圈用于扣住盘盖外径，以对所述盘盖及置于所述盘盖中的盘的气密性进行检测；升降机构，用于带动所述密封机构在预设位置和初始位置之间垂直升降。本实用新型具有定位精度高，可提高产品洁净度，提高生产效率，提高产品合格率，降低劳动力成本，以及有效确保密封性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 密封机构 盘盖 密封圈 气密性检测装置 本实用新型 预设位置 倒片机 种晶 产品合格率 定位精度高 劳动力成本 垂直升降 生产效率 升降机构 洁净度 密封性 气密性 扣住 检测 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，包括：密封机构，其设有密封圈，当所述密封机构由初始位置下降到预设位置时，所述密封圈用于扣住盘盖外径，以对所述盘盖及置于所述盘盖中的盘的气密性进行检测；升降机构，用于带动所述密封机构在预设位置和初始位置之间垂直升降。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海福赛特机器人有限公司，未经上海福赛特机器人有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920116719.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种气压容器密封检测装置
- 下一篇：一种汽车管件试压平台
