[实用新型]一种多工位的真空排气台有效
| 申请号： | 201920142586.3 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN209458077U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 司媛媛;刘纯;孟大伟;付宪阳 | 申请（专利权）人： | 北京哲勤科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02;F04B39/00;F04B39/12;F04B39/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种多工位的真空排气台，涉及排气台的技术领域，其包括相联通的离子泵以及真空室，还包括若干个单向阀以及真空压力计，所述真空室联通有至少两根连接管，所述连接管背离真空室的一端设置有用于连接的法兰。本实用新型具有能够对多个工位同时抽真空的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空排气 多工位 连接管 真空室 本实用新型 真空室联通 真空压力计 一端设置 抽真空 单向阀 离子泵 排气台 法兰 工位 联通 背离 | ||
【主权项】：
1.一种多工位的真空排气台，包括相联通的离子泵(1)以及真空室(4)，还包括若干个单向阀(9)以及真空压力计(8)，其特征在于：所述真空室(4)联通有至少两根连接管(53)，所述连接管(53)背离真空室(4)的一端设置有用于连接的法兰。
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