[实用新型]掩膜板异物检测设备有效
| 申请号： | 201920158639.0 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN209263906U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 彭兆基;蒋明华 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/95;G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 成珊 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种掩膜板异物检测设备，包括：承接平台，用于放置掩膜板；检测装置，设置于所述承接平台所在平面的上方，通过在掩膜板的被检测面区域移动以检测掩膜板上是否存在异物。通过设置于掩膜板的上方的检测装置检测掩膜板上的异物，检测装置在平行于被检测面区域的上方移动以检测突出掩膜板的异物，避免了将掩膜板压延痕误判为异物，提高了异物检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 异物 检测装置 异物检测设备 被检测面 承接平台 检测 本实用新型 压延 区域移动 上方移动 所在平面 异物检测 误判 平行 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板异物检测设备，其特征在于，包括：承接平台，用于放置掩膜板；检测装置，设置于所述承接平台所在平面的上方，通过在掩膜板的被检测面区域移动以检测所述掩膜板上是否存在异物。
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