[实用新型]晶锭纵向切割辅助装置有效
| 申请号： | 201920166462.9 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN209616068U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 赵延祥 | 申请（专利权）人： | 宁夏银和半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶锭纵向切割辅助装置，属于单晶硅晶棒加工设备技术领域。包括基座、晶锭支撑平台及进给量调整组件，进给量调整组件包括进给平台及调节丝杠，进给平台滑动连接于基座上，调节丝杠沿水平方向贯穿通过进给平台，且一端转动连接于基座上，晶锭支撑平台固定于进给平台的一端；调节丝杠螺纹连接进给平台，转动调节丝杠，带动进给平台前后移动。进行晶棒纵向切割作业时，将基座固定于晶棒截割机上，将单晶硅晶棒直立固定于晶锭支撑平台上，通过转动调节丝杠，使得进给平台主动进给，完成对单晶硅晶棒的纵向切割，提高纵向切割的成功率。同时解决了机台进给对刀导致的硅料损耗，样片平行度较差，垂直度较差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 进给平台 纵向切割 晶棒 晶锭 单晶硅 调节丝杠 支撑平台 进给量调整 辅助装置 转动调节 丝杠 机台 本实用新型 滑动连接 加工设备 螺纹连接 前后移动 直立固定 主动进给 转动连接 组件包括 垂直度 平行度 硅料 截割 进给 种晶 成功率 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种晶锭纵向切割辅助装置，其特征在于，包括基座、晶锭支撑平台及进给量调整组件，所述基座连接晶锭截断机，所述进给量调整组件滑动连接于所述基座上，所述晶锭支撑平台固定于所述进给量调整组件的一端；所述进给量调整组件包括进给平台及调节丝杠，所述进给平台滑动连接于所述基座上，所述调节丝杠沿水平方向贯穿通过所述进给平台，且一端转动连接于所述基座上，所述晶锭支撑平台固定于所述进给平台的一端；所述调节丝杠螺纹连接所述进给平台，转动所述调节丝杠，带动所述进给平台前后移动。
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