[实用新型]减薄机吸盘结构有效
| 申请号： | 201920167392.9 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN209579219U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 吴航;封国齐;刘鹏;李志伟 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京博讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11593 | 代理人： | 柳兴坤 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种减薄机吸盘结构，用于固定硅片，包括基体和吸附部，所述吸附部设置在所述基体上，所述基体的第一面上设置有第一安装槽，所述吸附部的一部分嵌入到所述第一安装槽内，所述吸附部位于所述第一安装槽外侧的部分上形成有吸附面，所述吸附面用于吸附所述硅片，所述吸附面的尺寸小于所述硅片的尺寸，所述吸附面高于所述第一面。本实用新型提供的减薄机吸盘结构，通过使吸附部上的吸附面和基体上的第一面之间形成高度差使得硅片的安装和分离更加方便，还能够避免分离过程中由于操作不当造成的裂片现象，降低了硅片的裂片率。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 吸附面 硅片 吸盘结构 安装槽 减薄机 本实用新型 分离过程 固定硅片 高度差 裂片率 裂片 嵌入 | ||
【主权项】：
1.一种减薄机吸盘结构，用于固定硅片，其特征在于，包括基体和吸附部，所述吸附部设置在所述基体上，所述基体的第一面上设置有第一安装槽，所述吸附部的一部分嵌入到所述第一安装槽内，所述吸附部位于所述第一安装槽外侧的部分上形成有吸附面，所述吸附面用于吸附所述硅片，所述吸附面的尺寸小于所述硅片的尺寸，所述吸附面高于所述第一面。
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