[实用新型]曝光组件及曝光装置有效

专利信息
申请号: 201920180119.X 申请日: 2019-02-01
公开(公告)号: CN209311854U 公开(公告)日: 2019-08-27
发明(设计)人: 汤朝元;宁鹏飞;王晓鹏 申请(专利权)人: 云谷(固安)科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 065500 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型涉及一种曝光组件及曝光装置,其中,曝光组件包括:支撑架;反光镜,设置于支撑架上且包括反光曲面,反光曲面用于将光线聚集于预定焦点;曝光灯,设置于反光曲面和预定焦点之间,曝光灯内包括汞蒸气;抽气系统,包括至少一个抽气头,至少一个抽气头设置于曝光灯远离所述反光镜的一侧,且在反光曲面的聚光路径的内外可移动设置。上述曝光组件,包括至少一个抽气头,并可在反光曲面的聚光路径内外可以移动设置。当反光镜内的曝光灯发生爆灯时,抽气头可移动至聚光路径内,在有害的汞蒸气溢出支撑架之前,将汞蒸气抽走,防止汞蒸气溢出对人体产生伤害。当曝光灯正常曝光时,抽气头可移动至聚光路径外,不影响曝光组件的正常使用。
搜索关键词: 曝光组件 抽气头 曝光灯 汞蒸气 聚光 反光镜 反光曲面 支撑架 曝光装置 可移动 反光 溢出 本实用新型 可移动设置 抽气系统 光线聚集 移动设置 焦点 曝光 伤害
【主权项】:
1.一种曝光组件,其特征在于,包括:支撑架;反光镜,设置于所述支撑架上,所述反光镜包括用于将光线聚集于预定焦点的反光曲面;曝光灯,设置于所述反光曲面和所述预定焦点之间,所述曝光灯内包括汞蒸气;抽气系统,包括至少一个抽气头,所述至少一个抽气头设置于所述曝光灯远离所述反光镜的一侧,且在所述反光曲面的聚光路径的内外可移动设置。
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