[实用新型]一种单晶碳化硅材料的加工设备有效
| 申请号： | 201920185878.5 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN209737289U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 赵永华;陈钊杰;王宏强 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B28D1/00 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 唐致明<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械加工技术领域，提供了一种单晶碳化硅材料的加工设备，包括磨削装置和射流装置，射流装置用于对单晶碳化硅工件喷射电解液，磨削装置用于对喷射电解液后的单晶碳化硅材料进行磨削加工，使在工件表面被高速氧化后产生的氧化膜立刻被磨削去除，可增加磨削精度和磨削效率，磨削后不会对单晶碳化硅表面形成损伤层。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶碳化硅 磨削 磨削装置 射流装置 电解液 喷射 机械加工技术 本实用新型 表面形成 高速氧化 工件表面 加工设备 磨削加工 损伤层 氧化膜 去除 | ||
【主权项】：
1.一种单晶碳化硅材料的加工设备，其特征在于：包括机架，以及设置在机架上的磨削装置、射流装置和承载装置，其中，/n所述磨削装置包括驱动部和磨削部，所述驱动部驱动所述磨削部旋转，所述磨削部由硬度低于单晶碳化硅的材料构成；/n所述射流装置包括喷嘴和电解液储存装置，所述喷嘴连通于所述电解液储存装置；/n所述承载装置包括用于固定单晶碳化硅材料的固定装置。/n
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