[实用新型]一种自动化上下料系统有效
申请号: | 201920192368.0 | 申请日: | 2019-02-12 |
公开(公告)号: | CN209374422U | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 刘群;庞爱锁;林佳继;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 彭西洋;谢亮 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种自动化上下料系统,上料缓存花篮、下料缓存花篮布置于上下料机构与周转机构之间;所述第一机械手用于将上下料机构上的物料上下料至上料缓存花篮、下料缓存花篮;第二机械手用于将上料中转花蓝的物料插片至周转机构的若干个舟中,及将周转机构中的物料下料至下料缓存花篮中;周转机构用于将若干个舟在上料/下料缓存花篮与舟中转机构之间移送;第三机械手用于将舟在周转机构与舟中转机构之间翻转后移送;所述第二机械手的取片容量与舟的卡槽数量成整数倍关系,且第二机械手的取片容量小于舟的卡槽数量。本实用新型无需逐片进行移载,系统可持续上下料,提高上下片效率,提高自动化效率和产能。 | ||
搜索关键词: | 缓存 机械手 周转机构 花篮 下料 上料 本实用新型 上下料机构 上下料系统 中转机构 上下料 取片 自动化 整数倍关系 自动化效率 翻转 插片 产能 移载 逐片 | ||
【主权项】:
1.一种自动化上下料系统,其特征在于,包括上下料机构、上料缓存花篮、下料缓存花篮、周转机构、舟中转机构、至少一第一机械手、至少一第二机械手、第三机械手、若干个舟;所述上料缓存花篮、下料缓存花篮布置于上下料机构与周转机构之间;所述第一机械手用于将上下料机构上的物料移载至上料缓存花篮,及从下料缓存花篮移载至上下料机构;所述若干个舟置于周转机构上,第二机械手用于将上料中转花蓝的物料插片至周转机构的若干个舟中,及将周转机构中的物料下料至下料缓存花篮中;所述周转机构用于将若干个舟从上料缓存花篮一端传送至舟中转机构,及从舟中转机构一端传送至下料缓存花篮;所述第三机械手用于将周转机构上的舟翻转后放至舟中转机构上,及将舟中转机构上的舟翻转后放至周转机构上;所述第二机械手的取片容量与舟的卡槽数量成整数倍关系,且第二机械手的取片容量小于舟的卡槽数量。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造