[实用新型]真空度激光检测系统有效
| 申请号： | 201920200470.0 | 申请日： | 2019-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN209727335U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 杨楷 | 申请（专利权）人： | 铠柏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01N21/39 |
| 代理公司： | 11587 北京汇知杰知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡伦;李洁<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 中国台湾新北市淡水*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空度激光检测系统，其特征在于，所述真空度激光检测系统包括：激光单元、反射单元、接收单元以及控制单元。激光单元用以产生入射激光光束至反射单元，反射单元具有金属反射膜以反射入射激光光束，并产生反射激光光束至接收单元，接收单元进一步产生侦测信号至控制单元，以得到真空度值。本实用新型的真空度激光检测系统结构简单、性能稳定，可提供检测待测装置真空度值更简便的方案，且即便在不同环境下侦测，也可省去校准的手续，同时仍可获得精准的真空度值。 | ||
| 搜索关键词： | 激光检测系统 反射单元 接收单元 入射激光光束 本实用新型 激光单元 反射激光光束 金属反射膜 待测装置 侦测信号 校准 侦测 反射 检测 | ||
【主权项】：
1.一种真空度激光检测系统，其特征在于，所述真空度激光检测系统包括：/n一激光单元，用以产生一入射激光光束；/n一反射单元，所述反射单元具有一金属反射膜，所述金属反射膜是一弧形曲面，且具有相对的受光面以及背光面，所述受光面具有一切点以反射所述入射激光光束，以产生一反射激光光束；/n一接收单元，用以接收所述反射激光光束而产生一侦测信号；以及/n一控制单元，其电性连接于所述激光单元以及所述接收单元，用以控制所述激光单元以及所述接收单元，并接收所述侦测信号以得到一真空度值；/n其中，所述金属反射膜的所述切点具有一切平面以及与所述切平面相交的一垂直面；所述激光单元与所述接收单元分别位于所述垂直面的两相反侧；/n其中，所述入射激光光束与所述垂直面形成一第一夹角，所述反射激光光束与所述垂直面形成一第二夹角，且所述第一夹角角度等于所述第二夹角角度。/n
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