[实用新型]一种料架装置及探针台有效
申请号: | 201920202577.9 | 申请日: | 2019-02-16 |
公开(公告)号: | CN209878813U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 林生财;肖乐;吴芳;王胜利 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种料架装置。所述料架装置包括,机架;第一调位部,通过丝杆导轨连接于机架,所述第一调位部能够在机架上沿竖直方向升降;料盒放置于第一调位部;挡料部,包括支撑部、旋转部、第一驱动部和档杆,所述支撑部连接于机架,所述旋转部活动连接于支撑部,所述第一驱动部固定于支撑部,且所述第一驱动部输出轴连接旋转部,所述档杆沿竖直方向连接于旋转部,所述第一驱动部带动所述旋转部旋转,使所述档杆沿竖直方向挡住料盒中的晶片;运料部,连接于机架;所述档杆与机架留置有过料空间,用于运料部将晶片放入料盒或者从料盒中取出晶片。 | ||
搜索关键词: | 旋转部 档杆 料盒 调位部 晶片 竖直 驱动 支撑 料架装置 运料 本实用新型 输出轴连接 活动连接 丝杆导轨 挡料部 料空间 放入 留置 挡住 升降 取出 | ||
【主权项】:
1.一种料架装置(100),其特征在于:所述料架装置(100)包括,/n机架(20);/n第一调位部(30),通过丝杆导轨连接于机架(20),所述第一调位部(30)能够在机架(20)上沿竖直方向升降;料盒(40)放置于第一调位部(30);/n挡料部(50),包括支撑部(51)、旋转部(52)、第一驱动部(53)和档杆(54),所述支撑部(51)连接于机架(20),所述旋转部(52)活动连接于支撑部(51),所述第一驱动部(53)固定于支撑部(51),且所述第一驱动部(53)输出轴连接旋转部(52),所述档杆(54)沿竖直方向连接于旋转部(52),所述第一驱动部(53)带动所述旋转部(52)旋转,使所述档杆(54)沿竖直方向挡住料盒(40)中的晶片;/n运料部(60),连接于机架(20);所述档杆(54)与机架(20)留置有过料空间,用于运料部(60)将晶片放入料盒(40)或者从料盒(40)中取出晶片。/n
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