[实用新型]一种承片台及全自动探针台有效
| 申请号： | 201920202616.5 | 申请日： | 2019-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN209858608U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 林生财;刘振辉;王胜利 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种承片台。所述承片台包括底部、第一支撑板、第二支撑板和放片部；所述放片部设置有第一贯通孔，沿所述第一贯通孔设置有定位环槽；所述定位环槽通过第一支撑板连接于底部，所述定位环槽通过第二支撑板连接于底部，所述放片部与底部形成测试空间；将固定双面晶片的定位夹具沿所述定位环槽固定，使所述双面晶片固定于所述承片台，测试探针通过测试空间对双面晶片进行导通，从而满足对双面晶片两侧同时电接触的测试要求。 | ||
| 搜索关键词： | 定位环槽 双面晶片 支撑板 承片台 片部 测试空间 贯通孔 本实用新型 测试探针 测试要求 定位夹具 电接触 导通 | ||
【主权项】：
1.一种承片台（50），其特征在于：所述承片台（50）包括底部（51）、第一支撑板（521）、第二支撑板（522）和放片部（53）；/n所述放片部（53）设置有第一贯通孔（531），沿所述第一贯通孔（531）设置有定位环槽（532）；所述定位环槽（532）通过第一支撑板（521）连接于底部（51），所述定位环槽（532）通过第二支撑板（522）连接于底部（51），所述放片部（53）与底部（51）形成测试空间（54）；/n将固定双面晶片的定位夹具（A）沿所述定位环槽（532）固定，使所述双面晶片固定于所述承片台（50），测试探针通过测试空间（54）对双面晶片进行导通，从而满足对双面晶片两侧同时电接触的测试要求。/n
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