[实用新型]限位件、工作平台组件及活化热退火设备有效
| 申请号： | 201920212244.4 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN209401610U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 郭雄;左丞;陈玉楠;饶杨;党康鹏;陈宏;金钟;秦鹏;王博;罗仲丽;黄世飞 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种限位件、工作平台组件及活化热退火设备，属于设备制造技术领域，其可解决现有基板的限位结构容易造成基板损坏的问题。本实用新型的限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于承载面上的基板进行限位；限位件包括至少一个斜面部，斜面部具有用于与基板接触的第一表面，以及与第一表面相对的第二表面，第一表面为平面或弧面，第二表面为平面；斜面部具有第一端和第二端，在从第一端到第二端的方向上，第一表面与第二表面间的距离逐渐增大；斜面部至少靠近第一端的部分用于置于基板和承载面之间。 | ||
| 搜索关键词： | 第一表面 限位件 斜面部 第二表面 基板 工作平台组件 本实用新型 热退火设备 第一端 活化 承载 设备制造技术 工作平台 基板接触 基板损坏 限位结构 逐渐增大 承载面 弧面 限位 | ||
【主权项】：
1.一种限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于所述承载面上的基板进行限位；其特征在于，所述限位件包括至少一个斜面部，所述斜面部具有用于与所述基板接触的第一表面，以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面为平面或弧面，所述第二表面为平面；所述斜面部具有第一端和第二端，在从所述第一端到所述第二端的方向上，所述第一表面与所述第二表面间的距离逐渐增大；所述斜面部至少靠近所述第一端的部分用于置于所述基板和所述承载面之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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