[实用新型]一种二维高精度微动平台有效
| 申请号： | 201920221052.X | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN209461159U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 边浩铖;赵洪新;孙昊毅 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种二维高精度微动平台，由固定平台、微动平台、压电陶瓷驱动器、并联杠杆放大机构及簧片导向机构组成。压电陶瓷驱动器安装在固定平台上，固定平台与微动平台之间通过四条运动支链连接，四条运动支链呈中心对称布置，在每条运动支链中，连杆的一端通过柔性铰链与微动平台连接，连杆的另一端通过柔性铰链与簧片导向机构连接，簧片导向机构与并联杠杆放大机构刚性连接，压电陶瓷驱动器的输出端与并联杠杆放大机构的输入端相抵靠，经并联杠杆放大机构与簧片导向机构将运动传递给微动平台，微动平台四个输入采用中心对称方式布置。本实用新型能在实现大行程运动的同时保证高的固有频率，也保证了运动传递的高精度和高稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 微动平台 杠杆放大机构 导向机构 并联 簧片 压电陶瓷驱动器 固定平台 运动支链 本实用新型 柔性铰链 运动传递 二维 中心对称布置 中心对称方式 大行程运动 刚性连接 高稳定性 固有频率 输出端 输入端 相抵 保证 | ||
【主权项】：
1.一种二维高精度微动平台，包括固定平台(1)、微动平台(3)、压电陶瓷驱动器(24)、并联杠杆放大机构及簧片导向机构,其特征在于：四个压电陶瓷驱动器(24)安装在固定平台(1)上，固定平台(1)与微动平台(3)之间通过四条呈中心对称布置的运动支链相连接，在每条运动支链中，连杆(40)的一端通过第二十直圆柔性铰链(41)与固定平台(1)相连接，簧片导向机构与连杆(40)的另一端通过第十九直圆柔性铰链(39)连接，簧片导向机构与并联杠杆放大机构刚性连接，并联杠杆放大机构的输入端与压电陶瓷驱动器(24)相抵靠，簧片导向机构通过第一直圆柔性铰链(4)、第四直圆柔性铰链(11)、第十五直圆柔性铰链(31)、第十八直圆柔性铰链(38)与固定平台(1)相连接，并联杠杆放大机构通过第八直圆柔性铰链(19)、第十一直圆柔性铰链(25)与固定平台(1)相连接。
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