[实用新型]一种管式PECVD设备电极对接装置

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD设备电极对接装置，包括第一对接电极和第二对接电极，第一对接电极包括第一电极座和第一安装板，第一电极座上穿设有正电极头、接地电极头和负电极头，第二电极座包括第二电极座和第二安装板，第二电极座设有三个电极头接入孔，正电极头、接地电极头和负电极头的一端插设于各电极头接入孔内，另一端均具有第一接线端，各电极头接入孔远离各电极头的一端设有第二接线端。本实用新型连接电极杆的第一电极座随着推舟滑台做直线运动，最终与连接射频电源的第二电极座连接，从而实现放电功能，该电极对接装置相对于原有的拖链机构，同样适用于移动部件，既能保证射频电源放电过程的稳定性，又省去了高昂的成本。