[实用新型]一种基板承载台有效
| 申请号： | 201920231441.0 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN209433150U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 陈富军;戴巧云 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H05F3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215301 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种基板承载台，包括基底及设置于基底上的绝缘层，绝缘层远离基底的一侧为承载面，该绝缘层内部还设置有中空的电极部承载穴，该基板承载台还包括设置于电极部承载穴内部的电极层，该电极层能够在控制装置的控制下在所述电极部承载穴中沿远离或靠近承载面的方向上移动，在玻璃基板制程结束后需要对玻璃进行剥离时，可以使电极部沿靠近承载面的方向上移动，进而缩短电极层与玻璃基板之间的距离增加充放电的速度，从而快速导出残留在基板上的静电，解决瞬时ESD问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电极部 绝缘层 承载穴 电极层 基底 基板承载台 玻璃基板 上移动 承载 基板承载 距离增加 控制装置 静电 承载面 充放电 中空的 导出 基板 制程 剥离 残留 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种基板承载台，包括：基底，其特征在于，还包括：绝缘层，设置于所述基底上，所述绝缘层远离所述基底的一侧为承载面，所述绝缘层内部设置有中空的电极部承载穴；电极层，设置于所述电极部承载穴中且能够在控制装置的控制下在远离或靠近所述承载面的方向上移动；电源，与所述电极层电连接并向所述电极层供电。
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