[实用新型]一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统有效
| 申请号： | 201920241613.2 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN209685908U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 武文全 | 申请（专利权）人： | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 34138 芜湖思诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 崔金<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，涉及真空镀膜技术领域，包括真空镀膜室和设置在真空镀膜室底端的第一泵室，所述第一泵室的内部位置处固定设置有第一真空泵，所述第一泵室的一侧固定设置有第二泵室，所述第二泵室的内部位置处固定设置有第二真空泵，所述第一真空泵的一端固定连接于真空镀膜室的底端，本实用新型设置了第一泵室、第一真空泵、第二真空泵、第二泵室、第一分流通道和第二分流通道，使得气体从左右两侧被抽走，采用了第一真空泵和第二真空泵，提高了整体的抽气速度，同时采用左右对称结构设计使气体从左右两边均匀抽走，能改善镀膜膜层的成膜速率和均匀性，提高了成品产出率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 泵室 真空镀膜室 固定设置 本实用新型 分流通道 内部位置 真空镀膜技术 左右对称结构 镀膜生产线 抽气系统 镀膜膜层 左右两侧 产出率 均匀性 速率和 成膜 抽气 底端 两边 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，包括真空镀膜室(5)和设置在真空镀膜室(5)底端的第一泵室(2)，其特征在于，所述第一泵室(2)的内部位置处固定设置有第一真空泵(1)，所述第一泵室(2)的一侧固定设置有第二泵室(12)，所述第二泵室(12)的内部位置处固定设置有第二真空泵(11)，所述第一真空泵(1)的一端固定连接于真空镀膜室(5)的底端，所述第一真空泵(1)的另一端位置处固定连接有第一分流通道(4)，所述第二真空泵(11)的一端固定连接于真空镀膜室(5)的底端，所述第二真空泵(11)的另一端固定连接有第二分流通道(9)，所述第二分流通道(9)和第一分流通道(4)之间固定连接有连接通道(8)，所述连接通道(8)的侧面固定设置有出气通道(7)，所述出气通道(7)的内部位置处固定设置有过滤吸附层(6)，所述第一真空泵(1)的侧面固定设置有第一蝶阀(3)，所述第一蝶阀(3)的一侧固定安装有第一电机(15)，所述第二真空泵(11)的侧面固定设置有第二蝶阀(10)，所述第二蝶阀(10)的一侧固定安装有第二电机(17)，所述真空镀膜室(5)的侧面位置处固定设置有电机控制器(13)。/n
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