[实用新型]一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置有效
申请号: | 201920262798.5 | 申请日: | 2019-03-01 |
公开(公告)号: | CN209619503U | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 张军强;丁宁;田增国;李仕豪;李宇翔;姜宝柱 | 申请(专利权)人: | 洛阳德晶智能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 薛布赫 |
地址: | 471000 河南省洛阳市中国(河南)自*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 为解决现有技术中人工操作易掉棒的问题,本实用新型提供一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置,包括壳体、设置在壳体内的控制组件、设置在壳体上的方向确定组件、位置确定组件以及抓取定位组件;方向确定组件包括用于向炉门侧壁上投射辅助夹爪调平的辅助线的标线器;位置确定组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉门之间距离的左侧测距器和右侧测距器;抓取定位组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉内壁之间距离的左定位器和右定位器;左侧测距器和右侧测距器之间的距离大于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体面向炉门的一侧。本实用新型可靠性高,使用后,大大提升了可靠性,减少了企业的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 测距器 炉门 壳体 位置确定组件 抓取 本实用新型 定位组件 对中装置 方向确定 左右两侧 测量夹 单晶炉 定位器 夹取 晶棒 对称设置 控制组件 人工操作 组件包括 标线器 辅助夹 辅助线 炉内壁 投射 侧壁 调平 生产成本 体内 | ||
【主权项】:
1.一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置,包括与用于取晶棒(6)的夹爪可拆卸连接的壳体(1)、设置在壳体(1)内的控制组件(2)、设置在壳体(1)上的方向确定组件(3)、位置确定组件(4)以及抓取定位组件(5);其特征在于:方向确定组件(3)包括用于向炉门侧壁上投射辅助夹爪调平的辅助线的标线器;位置确定组件(4)包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉门之间距离的左侧测距器(401)和右侧测距器(402);抓取定位组件(5)包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉内壁之间距离的左定位器(501)和右定位器(502);其中,左侧测距器(401)和右侧测距器(402)之间的距离大于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体(1)面向炉门的一侧;其中,左定位器(501)和右定位器(502)之间的距离等于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体(1)面向炉门的一侧;其中,左侧测距器(401)和右侧测距器(402)和右定位器(502)均与控制组件(2)电连接。
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