[实用新型]极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线

摘要

本实用新型一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线,主要由原料罐、精馏塔、废液罐、预加热塔、冷凝塔一、微滤器、过热器、冷凝塔二、超滤器、成品罐、吸废塔构成；所述原料罐与精馏塔连通，所述精馏塔底部出口与废液罐连通，精馏塔顶部出口与预加热塔相连通；所述预加热塔顶部出口通过管路依次串联冷凝塔一、微滤器、过热器、冷凝塔二、超滤器、成品罐；冷凝塔一和冷凝塔二的顶部废气出口分别与吸废塔连通；本产线通过预加热塔进将塔内残留的高温溶液液抽至精馏塔内与刚进入的常温原料进行热交换，对原料进行预热，降低加热器的能耗，节约了成本，通过微滤器和超滤器对硝酸溶液进行两次过滤，使产出的硝酸达到超高纯级标准，结构简单紧凑，能耗降低，成品纯度高，生产效率高。

主权项

1.一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，其特征在于：主要由原料罐(1)、精馏塔(2)、废液罐(4)、预加热塔(5)、冷凝塔一(6)、微滤器(7)、过热器(8)、冷凝塔二(9)、超滤器(10)、成品罐(11)、吸废塔(12)构成；所述原料罐(1)通过管路与精馏塔(2)相连通，所述原料罐(1)与精馏塔(2)之间的管路上设置有计量阀；所述精馏塔(2)的底部设置有塔釜加热器(3)，所述塔釜加热器(3)与精馏塔(2)相连通；所述塔釜加热器(3)的底部出液口通过管路与废液罐(4)相连通，所述塔釜加热器(3)与废液罐(4)之间的管路上设置有单向阀；所述废液罐(4)的出液口通过管路与精馏塔(2)相连通，所述废液罐(4)与精馏塔(2)之间的管路上设置有循环泵；上述精馏塔的顶部出口通过管路与预加热塔(5)相连通，所述预加热塔(5)的底部出液口通过管路与精馏塔(2)相连通；所述预加热塔(5)的顶部出口通过管路与冷凝塔一(6)相连通；所述冷凝塔一(6)的顶部出口通过管路与吸废塔(12)相连通；所述冷凝塔一(6)的底部出口通过管路与微滤器(7)相连通；上述微滤器(7)的底部出口通过管路与过热器(8)相连通；所述过热器(8)的顶部出口通过管路与冷凝塔二(9)相连通，所述冷凝塔二(9)的顶部出口通过管路与吸废塔(12)相连通；所述冷凝塔二(9)的底部出口通过管路与超滤器(10)相连通；所述超滤器(10)的底部出口通过管路与成品罐(11)相连通。/n